深圳康柏工业陶瓷公司

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半导体氧化铝陶瓷件类别:半导体陶瓷件

简介:半导体制造设备部品(腔体部件、绝缘法兰盘、蚀刻设备部件、晶圆夹盘);粉碎机部件(分级机、气流式粉碎机、珠磨机);一般产业用部件(激光加工机喷嘴、转轴、轴承);高精度用,精密用,耐热用冶工具(定位治具、装配夹具);耐磨耗部件(拉丝机导向辊、钢丝通道、导轨);电绝缘部件(绝缘子、垫片、衬套)。

产品介绍

氧化铝(Al2O3)是精密陶瓷中最常用的材料。我司供应纯度为99.5%和99.9%的产品。


氧化铝(Al2O3)主要用途

半导体制造设备部品(腔体部件、绝缘法兰盘、蚀刻设备部件、晶圆夹盘);粉碎机部件(分级机、气流式粉碎机、珠磨机);一般产业用部件(激光加工机喷嘴、转轴、轴承);高精度用,精密用,耐热用冶工具(定位治具、装配夹具);耐磨耗部件(拉丝机导向辊、钢丝通道、导轨);电绝缘部件(绝缘子、垫片、衬套)。


特点
○ 氧化铝是白色或乳白色的陶瓷,利用其优异的电绝缘性能,早期开始即应用在电子部品上,使用量较多,是精密陶瓷中成本最低的材质。
○ 我司供应纯度为99.5%和99.9%的高纯度产品。高纯度类型氧化铝的机械强度高、耐腐蚀性优异,可生产大型产品。

○ 此外,由于其具有优异的耐等离子特性,也可用于CVD设备或蚀刻设备的部件。


型号

特点

密度

杨氏弹性模量

弯曲强度

断裂韧性

热膨胀系数

热传导率

体积电阻



[g/cm3]

[GPa]

[MPa]

[MPa?m1/2]

[×10-6/K]

[W/m?K]

[Ω?cm]

氧化铝99.5%

用途广泛高刚性

3.9

370

440

3~4

6.3

33

>1014

氧化铝99.9%

高纯度高刚性

3.9

370

450

3~4

6.3

30

>1014


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